
详情介绍
设备用途
提供具体真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术,碳纤维等新材料工艺领域。
主要技术参数
1、额定功率:30KW
2、最高温度:500℃
3、有效工作区尺寸:Φ400×800mm
4、空炉冷态极限真空度:≤20Pa(15min内能抽到20Pa以下)
5、冷态压升率:≤2Pa∕h
6、充气压力(微正压):≤0.01Mpa
7、工作气氛:空气和氮气
8、两个空气浮子流量计:1-10L/min,10-100L/min
9、两个氮气浮子流量计:1-10L/min,10-100L/min
10、样品转速:1-10r/min
11、发热元件:Cr20Ni80
12、测温方式:K型热电偶
13、控温精度:±1℃
14. 温度均匀性:±5℃
15、样品尺寸:Φ300×300mm;数量:2
16、炉型:卧式
注:可根据用户要求定制各种型号非标产品。
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